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\u78b3\u5316\u7845\u6a21\u5757\u5c01\u88c5\u5982\u4f55\u63d0\u5347\u8010\u9ad8\u6e29\u80fd\u529b\u2014\u2014SiC\u7279\u8272\u5c01\u88c5\u8bbe\u8ba1\u8def\u7ebf<\/p>\n
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\u78b3\u5316\u7845\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u5c01\u88c5\u7528\u9ad8\u70ed\u5bfc\u7387\u9676\u74f7\u57fa\u677f<\/p>\n
\u78b3\u5316\u7845\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u5c01\u88c5\u7528\u4f4e\u7535\u963b\u7387\u7684\u91d1\u5c5e\u8fde\u63a5\u4ef6\u3001\u70e7\u7ed3\u94f6\/\u94dc\u5de5\u827a<\/p>\n
\u8010\u9ad8\u538b\u5c01\u88c5\u7edd\u7f18\u6750\u6599\u3001\u70ed\u7ba1\u7406\u6750\u6599\u7a81\u7834<\/p>\n
\u529f\u7387\u6a21\u5757\u8bbe\u8ba1\u4e0e\u4eff\u771f\u6d41\u7a0b<\/p>\n
\uff083\uff09\u78b3\u5316\u7845\u6676\u5706\uff08\u886c\u5e95\u4e0e\u5916\u5ef6\u7247\uff09\u4e13\u573a<\/p>\n
8 inch SiC\u5916\u5ef6\u7247\u751f\u957f\u6280\u672f\u53ca\u4ea7\u4e1a\u5316\u8fdb\u5c55<\/p>\n
\u5927\u5c3a\u5bf8\u886c\u5e95\u5236\u9020\u96be\u70b9\u53ca\u6280\u672f\u7a81\u7834<\/p>\n
\u78b3\u5316\u7845\u6676\u5706\u5207\u5272\u826f\u7387\u63d0\u5347\u53ca\u7fd8\u66f2\u9632\u8303\u2014\u2014\u6fc0\u5149\u5207\u5272<\/p>\n
8 inch\u78b3\u5316\u7845\u6676\u5706\u78e8\u629b\u5de5\u827a\u65b9\u6848<\/p>\n
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CVD SiC\u9676\u74f7\u6750\u6599\u5728\u534a\u5bfc\u4f53\u884c\u4e1a\u7684\u5e94\u7528\u548c\u53d1\u5c55<\/p>\n
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\uff084\uff09\u78b3\u5316\u7845\u6676\u4f53\u751f\u957f\u4e13\u573a<\/p>\n
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8\u82f1\u5bf8\u78b3\u5316\u7845\u6676\u4f53\u751f\u957f\u4f4d\u9519\u63a7\u5236<\/p>\n
\u957f\u6676\u7089\u8bbe\u8ba1\u53ca\u5173\u952e\u53c2\u6570\u63a7\u5236<\/p>\n
\u70ed\u573a\u8bbe\u8ba1\u3001\u6676\u4f53\u5236\u5907\u5de5\u827a\u8bbe\u8ba1\u2014\u2014\u63a7\u6e29\u6280\u672f\u53ca\u8bbe\u5907<\/p>\n
\u78b3\u5316\u7845\u6676\u4f53\u7f3a\u9677\u63a7\u5236\u2014\u2014\u5feb\u901f\u9000\u706b\u7089\u53ca\u6280\u672f\u5e94\u7528<\/p>\n
\u300c\u6c2e\u5316\u9553\u534a\u5bfc\u4f53\u300d\u5206\u8bba\u575b\uff1a\u6c2e\u5316\u9553AI\u65f6\u4ee3\u5f00\u7586\u62d3\u571f<\/strong><\/p>\n\uff081\uff09\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u8bbe\u8ba1\u4e0e\u5236\u9020\u6280\u672f\u4e13\u573a<\/p>\n
\u9ad8\u6027\u80fd\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u8bbe\u8ba1<\/p>\n
\u9ad8\u53ef\u9760\u6027\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u7814\u7a76<\/p>\n
\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u5236\u9020\u5173\u952e\u6311\u6218\u548c\u89e3\u51b3\u65b9\u6848<\/p>\n
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\u6c2e\u5316\u9553\u5355\u6676\u886c\u5e95\u751f\u957f\u7814\u7a76<\/p>\n
\u6c2e\u5316\u9553\u6676\u4f53\u751f\u957fHVPE\u7089\u7814\u7a76\u8fdb\u5c55<\/p>\n
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\u6c2e\u5316\u9553\u5916\u5ef6MOCVD\u8bbe\u5907\u8fdb\u5c55\u548c\u7a81\u7834<\/p>\n
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\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u5e94\u7528\u8d8b\u52bf\u4e0e\u53d8\u5316\uff08\u9700\u6c42\uff09<\/p>\n
\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u5f00\u5173\u7535\u6e90\u6280\u672f\u7684\u6311\u6218<\/p>\n
\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u5728\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u7535\u6e90\u7684\u5e94\u7528\u5b9e\u8df5<\/p>\n
\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u521b\u65b0\u65b9\u6848<\/p>\n
\u5de5\u4e1a\u7ea7\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u53ef\u9760\u6027\u9a8c\u8bc1<\/p>\n
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\n\uff084\uff09\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u591a\u5143\u5e94\u7528\u53d1\u5c55\u4e13\u573a<\/p>\n\u6c2e\u5316\u9553\u5927\u89c4\u6a21\u5e94\u7528\u7684\u5173\u952e\u56e0\u7d20<\/p>\n
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\u5e94\u7528\u4e8e\u5149\u4f0f\u5fae\u9006\u53d8\u5668\u7684\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u6574\u4f53\u65b9\u6848<\/p>\n
\u9ad8\u538b\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u4e3a\u5e94\u7528\u521b\u9020\u66f4\u591a\u53ef\u80fd\u6027<\/p>\n
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\u5706\u684c\u5bf9\u8bdd\uff1a\u6c2e\u5316\u9553\u529f\u7387\u5668\u4ef6\u53ef\u9760\u6027\u9a8c\u8bc1\u6807\u51c6\u5efa\u8bbe<\/strong><\/p>\n\u54a8\u8be2\u62a5\u540d<\/p>\n