Arche開啟韓國首個碳化硅外延片量產

作者 | 發(fā)布日期 2023 年 02 月 02 日 10:26 | 分類 碳化硅SiC

據報道,SiC材料公司Arche在韓國京畿道公司總部舉行開幕式活動,宣布SiC外延片正式量產。目前,Arche正準備生產電動汽車用650V、1200V SiC材料,目標是開發(fā)出3000V、6000V以及可用于航空航天、國防領域的12000V SiC材料。

資料顯示,Arche成立于2014年,專注于研發(fā)生產SiC材料,供應半導體設備廠商。據悉,Arche采用愛思強(Aixtron SE)生產的G4 MOCVD蒸鍍設備,還引進了其新的G5蒸鍍設備,預計3月份完成建設。在完成對相關設備的爬坡及良率穩(wěn)定工作后,預計從今年第四季度開始正式量產相關產品。

眾所周知,SiC設備、襯底及外延材料是SiC產業(yè)鏈前端非常關鍵、且技術門檻較高的環(huán)節(jié),目前仍有許多技術難題需要攻克,是各國第三代半導體產業(yè)重點攻關的方向。

本次Arche成功量產SiC外延片,意味著韓國第三代半導體產業(yè)的發(fā)展又向前邁出了一步。此外,在SiC關鍵設備領域,韓國去年也取得了重要進展:韓國ESTech成功實現SiC晶錠生長設備的國產化。

圖片來源:拍信網正版圖庫

在GaN領域,韓國企業(yè)也在不斷發(fā)力GaN功率半導體市場,著眼于8英寸GaN襯底、外延、器件等更高端的領域,旨在搶占GaN在電動汽車等高功率應用市場的商機。例如,東部高科去年計劃在硅基GaN上生產8英寸半導體元件;IVWorks去年收購了法國Saint-Gobain的GaN晶圓業(yè)務,計劃在高功率應用領域供應GaN-on-GaN外延片,對打SiC材料,搶攻電動汽車市場。

企業(yè)之外,韓國政府也持續(xù)加大對第三代半導體領域的投資,近年來推出了不少利好政策,支持韓國第三代半導體產業(yè)的發(fā)展壯大。

去年,為應對SiC、GaN、GaO等迅速增長的全球功率半導體市場,韓國推出了由其國內半導體企業(yè)、大學、研究所等組成的“新一代晶體工程部”,目標是開發(fā)以SiC為基礎的國產功率半導體生態(tài)系統,還將培育與SiC半導體相關的材料、零部件和設備企業(yè)的發(fā)展,成立SiC產業(yè)聯盟。

據悉,韓國SiC產業(yè)聯盟包括LX Semiconductor、SK siltron、Hana Materials、STI等30家功率半導體企業(yè)。其中,LX Semiconductor負責開發(fā)SiC半導體,SK siltron公司負責開發(fā)SiC襯底,Hana Materials和STI將共同開發(fā)SiC半導體零件和設備技術。光云大學、嘉泉大學和韓國國民大學則支援SiC半導體研究開發(fā)基礎設施,由國家納米材料研究所和韓國陶瓷工程技術研究所支援技術。

韓國政府壯大第三代半導體產業(yè)的決心由此可見一斑,從企業(yè)的進展來看,韓國也逐漸在第三代半導體核心環(huán)節(jié)取得突破,逐步縮短與歐美日等國家的距離。接下來,各國之間在第三代半導體領域的角逐也將日趨激烈,全球市場格局未來或將生變。(文:集邦化合物半導體 Jenny整理)

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