近期,北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB)宣布成功向國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體企業(yè)交付了自主研發(fā)的濕法清洗設(shè)備集群。該設(shè)備將用于碳化硅外延及器件產(chǎn)線,助力其提升晶圓制造良率與產(chǎn)能效率。
CGB公司介紹,交付設(shè)備構(gòu)成完整的清洗鏈條:從光刻環(huán)節(jié)的顯影/去膠(半自動(dòng)顯影機(jī)、無(wú)機(jī)去膠清洗機(jī)),...  [詳內(nèi)文]
助力第三代半導(dǎo)體客戶量產(chǎn)突破,CGB碳化硅專用清洗設(shè)備交付 |
作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 07 月 11 日 14:32
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關(guān)鍵字:
SiC碳化硅
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