近日，化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)達(dá)成了2起產(chǎn)學(xué)研合作。
萬(wàn)業(yè)企業(yè)與國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心達(dá)成戰(zhàn)略合作
8月19日，據(jù)上海萬(wàn)業(yè)企業(yè)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱：萬(wàn)業(yè)企業(yè)）官微消息，萬(wàn)業(yè)企業(yè)8月16日與國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）在蘇州納米城舉辦的國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）2024年發(fā)展戰(zhàn)略研討會(huì)現(xiàn)場(chǎng)舉行了《協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展全面戰(zhàn)略合作協(xié)議》簽署儀式。
source：萬(wàn)業(yè)企業(yè)
根據(jù)協(xié)議，雙方將瞄準(zhǔn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)用需求，圍繞先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝關(guān)鍵技術(shù)，共同培育和承擔(dān)各類重大項(xiàng)目。
具體來(lái)看，此次攜手合作，雙方將共建國(guó)家第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心先進(jìn)化合物半導(dǎo)體器件制造中心與第三代半導(dǎo)體工藝技術(shù)開發(fā)平臺(tái)，圍繞先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝關(guān)鍵技術(shù)，設(shè)置研發(fā)課題，聯(lián)合攻堅(jiān)關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)核心工藝技術(shù)問(wèn)題，合力開展關(guān)鍵工藝技術(shù)開發(fā)，推動(dòng)第三代半導(dǎo)體芯片制程量產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化、標(biāo)準(zhǔn)化，實(shí)現(xiàn)技術(shù)自主可控。
資料顯示，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）由江蘇第三代半導(dǎo)體研究院有限公司作為主體承建單位，聚焦第三代半導(dǎo)體在新型顯示、5G通信、電力電子、環(huán)境與健康等領(lǐng)域的應(yīng)用，開展第三代半導(dǎo)體高質(zhì)量材料制備技術(shù)、器件外延技術(shù)、芯片工藝技術(shù)、應(yīng)用模塊設(shè)計(jì)與集成技術(shù)、相關(guān)裝備技術(shù)等關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)和成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，建立覆蓋第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈條、全體系的創(chuàng)新平臺(tái)。
萬(wàn)業(yè)企業(yè)成立于1991年10月，是一家半導(dǎo)體設(shè)備材料廠商。近年來(lái)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)陸續(xù)收購(gòu)凱世通、Compart Systems，成立嘉芯半導(dǎo)體，持續(xù)加大集成電路在公司整體業(yè)務(wù)中的比重。目前，萬(wàn)業(yè)企業(yè)已形成多個(gè)半導(dǎo)體前道核心設(shè)備產(chǎn)品線，業(yè)務(wù)覆蓋集成電路離子注入機(jī)、刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多類主制程設(shè)備以及尾氣處理等支撐制程設(shè)備。
作為萬(wàn)業(yè)企業(yè)控股子公司，凱世通專注于為下游晶圓廠提供覆蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率、CIS四大應(yīng)用領(lǐng)域的設(shè)備。其自主研發(fā)生產(chǎn)的低能大束流離子注入機(jī)和超低溫離子注入機(jī)，已經(jīng)率先通過(guò)了國(guó)內(nèi)多家重點(diǎn)12英寸晶圓廠的驗(yàn)證驗(yàn)收，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
凱世通自去年開始研發(fā)投入多款面向細(xì)分領(lǐng)域的離子注入機(jī)，包括SOI氫離子注入機(jī)、6/8英寸碳化硅高溫離子注入機(jī)、中束流離子注入機(jī)、超高能離子注入機(jī)等特色工藝設(shè)備。
武高新-常大化合物半導(dǎo)體創(chuàng)新聯(lián)合體揭牌
8月15日，據(jù)“武進(jìn)國(guó)家高新區(qū)”官微消息，武進(jìn)國(guó)家高新區(qū)-常州大學(xué)化合物半導(dǎo)體創(chuàng)新聯(lián)合體正式簽約揭牌。
source：武進(jìn)國(guó)家高新區(qū)
該聯(lián)合體建設(shè)單位主要有常州大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、武進(jìn)區(qū)人民政府、武進(jìn)國(guó)家高新區(qū)管委會(huì)以及縱慧芯光、承芯半導(dǎo)體等化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)。聯(lián)合體一期建設(shè)投入經(jīng)費(fèi)1000萬(wàn)元，建設(shè)期兩年，擬設(shè)立科研創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目不低于40項(xiàng)。
據(jù)悉，武進(jìn)國(guó)家高新區(qū)聚焦化合物半導(dǎo)體，以化合物半導(dǎo)體制造、特色集成電路設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體核心材料與設(shè)備為產(chǎn)業(yè)發(fā)展重點(diǎn)方向，目前累計(jì)引進(jìn)落戶了縱慧芯光、承芯半導(dǎo)體、快克芯、臻晶半導(dǎo)體、圣創(chuàng)半導(dǎo)體、毫厘智能等60多個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目。
其中，縱慧芯光成立于2015年，是國(guó)內(nèi)較早從事VCSEL激光芯片3D感知應(yīng)用研發(fā)的企業(yè)，自有外延產(chǎn)線和封測(cè)產(chǎn)線，提供VCSEL激光芯片及模組和外延片的研發(fā)制造與服務(wù)，核心產(chǎn)品為3D感知應(yīng)用的VCSEL芯片、激光雷達(dá)（LiDAR）高功率VCSEL芯片解決方案。項(xiàng)目進(jìn)展方面，縱慧芯光建設(shè)有國(guó)內(nèi)第一條6英寸GaAs外延片生產(chǎn)線。
臻晶半導(dǎo)體是一家專業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅的液相法晶體生長(zhǎng)及襯底制備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的廠商。其基于液相法單晶爐制備技術(shù)、多元活性助溶技術(shù)生產(chǎn)出了低成本6英寸碳化硅晶體。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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