3月12日，中微公司宣布其等離子體刻蝕設(shè)備反應(yīng)總臺(tái)數(shù)全球累計(jì)出貨超過(guò)5000臺(tái)，涉及CCP高能等離子體刻蝕機(jī)和ICP低能等離子體刻蝕機(jī)、單反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器和雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器共四種構(gòu)型的設(shè)備。
中微公司介紹，等離子體刻蝕機(jī)，是光刻機(jī)之外，最關(guān)鍵的、也是市場(chǎng)最大的微觀加工設(shè)備。由于微觀器件越做越小和光刻機(jī)的波長(zhǎng)限制，也由于微觀器件從二維到三維發(fā)展，刻蝕機(jī)是半導(dǎo)體設(shè)備過(guò)去十年增長(zhǎng)最快的市場(chǎng)。
中微公司不斷拓展等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線，以滿足先進(jìn)的芯片器件制造日益嚴(yán)苛的技術(shù)需求。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備不斷擴(kuò)大市場(chǎng)占有率，其中，CCP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長(zhǎng)大于37%，已突破4000個(gè)反應(yīng)臺(tái)；ICP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長(zhǎng)大于100%，已突破1000個(gè)反應(yīng)臺(tái)。
截至2025年2月底，公司累計(jì)已有超過(guò)5400個(gè)反應(yīng)臺(tái)在國(guó)內(nèi)外130多條生產(chǎn)線，全面實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷(xiāo)售。中微公司表示，這一重要里程碑標(biāo)志著公司在等離子體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域持續(xù)得到客戶與市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可，并彰顯了公司在等離子體刻蝕領(lǐng)域已進(jìn)入國(guó)際前列。（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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