近日，西湖儀器（杭州）技術(shù)有限公司宣布（以下簡稱“西湖儀器”），其產(chǎn)品演示中心已建成并投入試運(yùn)行。
圖片來源：西湖儀器
該中心是一個(gè)集8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線與大尺寸碳化硅襯底加工驗(yàn)證于一體的綜合平臺(tái)，具備前沿技術(shù)與產(chǎn)品的驗(yàn)證能力，是推動(dòng)激光剝離技術(shù)從“工藝可行”邁向“量產(chǎn)好用”的關(guān)鍵載體。這種“量產(chǎn)演示”與“前沿驗(yàn)證”相結(jié)合的布局，使該中心能夠?yàn)榭蛻籼峁墓に噷?dǎo)入到量產(chǎn)決策的全方位支持。
作為產(chǎn)品演示中心的核心，8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了從“從錠到片”的全流程自動(dòng)化、無人化操作，是滿足當(dāng)前市場主流需求、實(shí)現(xiàn)降本增效的產(chǎn)業(yè)化利器。該驗(yàn)證線年產(chǎn)超過20,000片8英寸襯底，模塊化設(shè)計(jì)支持產(chǎn)能靈活調(diào)配，能夠?yàn)榭蛻籼峁┒鄬哟稳轿坏尿?yàn)證數(shù)據(jù)。
大尺寸碳化硅激光剝離工藝驗(yàn)證線，主要服務(wù)于12英寸碳化硅襯底的新技術(shù)工藝和產(chǎn)品驗(yàn)證，具備年產(chǎn)超過10,000片12英寸襯底的處理能力，同時(shí)滿足各類非標(biāo)大尺寸籽晶加工需求。其核心任務(wù)是攻克大尺寸工藝難題、開展技術(shù)前瞻性研發(fā)，為下一代大尺寸襯底加工提供技術(shù)儲(chǔ)備與解決方案。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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