昂坤視覺近期推出了針對MicroLED外延檢測高端設備E3200micro，該設備在昂坤視覺上一代兩款藍綠光和紅光外延片檢測設備的基礎上，檢測光學系統(tǒng)重新做了設計和提升，在一臺設備上集成了表面缺陷和紅，藍和綠光外延片的熒光缺陷檢測。表面顆粒的最小精度達到了60nm，熒光缺陷像素分辨率0.5um。
昂坤視覺Mciro LED的檢測設備E3200micro
E3200micro明場采用微分干涉DIC檢測系統(tǒng)，可以對外延片表面的晶格缺陷形貌成像檢測和AI分類；暗場采用激光散射，顆粒檢測精度最低可以達到60nm。
E3200micro針對不同顏色發(fā)光的外延片，配備了相應的激發(fā)激光和適配的收集系統(tǒng)，可以對GaAs外延紅光， GaN 外延綠光和GaN外延藍光進行熒光缺陷檢測，并且缺陷和表面缺陷進行融合和AI分類。
（全彩相機，Red GaAs PL Map）
（全彩相機，Green GaN PL Map）
（全彩相機，Blue GaN PL Map）
該設備為Micro LED全彩顯示提供了從外延生長到芯片制程的一體化質量監(jiān)控方案，為Micro LED外延片在AR/VR、透明顯示及車載HUD等新興場景的規(guī)?；涞靥峁┖诵募夹g支撐。設備推出后，已經(jīng)有多家客戶送樣測試，并獲得多臺訂單和發(fā)貨。
【附：Eagle 系列設備介紹】
E1000：專注于 InP、GaAs、LT、LN、玻璃等晶圓的缺陷檢測。針對這類晶圓的典型特征，采用明暗場光學檢測系統(tǒng)與缺陷自動檢測分類算法，可快速精準識別并分類 Pit（凹坑）、Bump（凸點）、Particle（顆粒）、Scratch（劃痕）等常見缺陷。
E3200：適用于 GaN 襯底及藍寶石（Sapphire）、硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等各類襯底的 GaN 外延缺陷檢測。依托多通道光學檢測系統(tǒng)與缺陷自動檢測分類算法，為晶圓質量控制與工藝優(yōu)化提供有力支持。
E3500：專為 SiC 襯底片與外延片缺陷檢測打造。針對 SiC 缺陷類型多樣的特點，融合多通道光學檢測系統(tǒng)與缺陷自動檢測分類算法，可快速精準識別并分類微管、層錯、三角形缺陷、臺階聚集等常見缺陷，助力 SiC 產品質量把控與生產工藝升級。
【關于昂坤視覺】
昂坤視覺于 2017 年在北京創(chuàng)立，下設南昌、杭州兩家全資半導體設備子公司。公司專注化合物半導體、光電及集成電路前端制造領域，致力于提供光學測量與檢測設備及解決方案，秉持打造國際水準晶圓檢測設備的愿景，持續(xù)深耕技術研發(fā)。
憑借多年自主創(chuàng)新與技術積累，昂坤視覺已具備光學系統(tǒng)設計、成像技術、機器視覺及學習算法的核心研發(fā)能力，擁有多項自主研發(fā)的領先技術。公司先后榮獲國家高新技術企業(yè)、國家級專精特新 重點“小巨人” 企業(yè)、北京市企業(yè)技術中心等資質認證，并通過 ISO9001 質量管理體系認證，是一家集研發(fā)、生產、銷售、服務于一體的高科技企業(yè)，為半導體產業(yè)發(fā)展持續(xù)貢獻力量。（來源：昂坤視覺）
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