近日,SiC外延生長CVD設(shè)備供應(yīng)商納設(shè)智能成功研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術(shù)的8英寸碳化硅外延設(shè)備,此設(shè)備具備獨特反應(yīng)腔室設(shè)計、可獨立控制的多區(qū)進氣方式、以及智能的控制系統(tǒng),將更好的提高外延片的均勻性,降低外延缺陷及生產(chǎn)中的耗材成本。
sourse:納設(shè)智能
目前,6英寸碳化...  [詳內(nèi)文]
瞄準(zhǔn)8英寸SiC外延!這家設(shè)備廠再獲突破 |
作者
huang, Mia
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發(fā)布日期:
2023 年 08 月 30 日 18:35
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關(guān)鍵字:
SiC外延
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