5月16日,據(jù)日媒導(dǎo)報(bào),住友重工子公司—住友重工離子技術(shù)公司最早將于2025年在市場(chǎng)上推出用于碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體的離子注入機(jī)。
source:住友重工離子技術(shù)公司
報(bào)介紹,離子注入設(shè)備將磷、硼等雜質(zhì)離子注入晶圓中,以改變其電特性。對(duì)于硅晶片,在離子注入后進(jìn)行熱處理以恢復(fù)...  [詳內(nèi)文]
住友重工離子技術(shù)公司明年將推出SiC離子注入設(shè)備 |
作者 huang, Mia | 發(fā)布日期: 2024 年 05 月 16 日 17:55 | | 分類(lèi): 企業(yè) |