碳化硅陶瓷作為一種高性能結(jié)構(gòu)陶瓷材料，具有高硬度、高導(dǎo)熱性和低熱膨脹系數(shù)等特性，在半導(dǎo)體領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。近日，兩個(gè)碳化硅陶瓷項(xiàng)目迎來(lái)新進(jìn)展，包括浙江芯之純半導(dǎo)體材料有限公司半導(dǎo)體級(jí)高純陶瓷產(chǎn)品建設(shè)項(xiàng)目進(jìn)入試生產(chǎn)階段、新疆乾景精細(xì)陶瓷有限公司高性能精細(xì)陶瓷制品項(xiàng)目正式開(kāi)工建設(shè)。
01、浙江半導(dǎo)體級(jí)高純碳化硅陶瓷項(xiàng)目試生產(chǎn)
據(jù)“今日建德”消息，近日，位于大洋鎮(zhèn)下王區(qū)塊的浙江芯之純半導(dǎo)體材料有限公司半導(dǎo)體級(jí)高純陶瓷產(chǎn)品建設(shè)項(xiàng)目迎來(lái)新進(jìn)展。目前，該項(xiàng)目已進(jìn)入試生產(chǎn)階段。
圖片來(lái)源：今日建德
公開(kāi)資料顯示，浙江芯之純半導(dǎo)體材料有限公司成立于2023年，專(zhuān)注于半導(dǎo)體材料研發(fā)制造，公司業(yè)務(wù)涵蓋電子專(zhuān)用材料制造、石墨及碳素制品制造、涉及半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造及特種陶瓷制品制造等。
據(jù)介紹，該項(xiàng)目總投資達(dá)2.4億元，占地約40畝（規(guī)劃用地面積約26702平方米），總建筑面積達(dá)19253.1平方米。項(xiàng)目聚焦高端半導(dǎo)體關(guān)鍵材料領(lǐng)域，主要建設(shè)內(nèi)容包括高純陶瓷產(chǎn)品生產(chǎn)廠房、先進(jìn)制造裝置及配套設(shè)施。公司引進(jìn)了高純碳化硅沉積爐、精密數(shù)控加工中心、全自動(dòng)清洗線等國(guó)際先進(jìn)設(shè)備，致力于打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體級(jí)高純陶瓷材料生產(chǎn)基地。
項(xiàng)目正式投產(chǎn)后，將具備年產(chǎn)6.31萬(wàn)件（套）半導(dǎo)體級(jí)高純陶瓷產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品涵蓋化學(xué)氣相沉積法制備的石墨基碳化硅涂層及固體碳化硅材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、LED外延爐等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端耗材領(lǐng)域的部分技術(shù)空白。
02、新疆高性能精細(xì)陶瓷制品項(xiàng)目開(kāi)工
據(jù)“石河子市融媒體中心”消息，10月18日，新疆乾景精細(xì)陶瓷有限公司高性能精細(xì)陶瓷制品項(xiàng)目，在147團(tuán)十戶灘新材料產(chǎn)業(yè)園開(kāi)工建設(shè)。
圖片來(lái)源：八師溫州商會(huì)
公開(kāi)資料顯示，新疆乾景精細(xì)陶瓷有限公司成立于2020年，是一家專(zhuān)注于特種陶瓷制品研發(fā)、制造與銷(xiāo)售的企業(yè)，同時(shí)涉足金屬基復(fù)合材料、陶瓷基復(fù)合材料、新型陶瓷材料等領(lǐng)域。
據(jù)介紹，該項(xiàng)目總投資5億元，預(yù)計(jì)2026年12月前建成投產(chǎn)，產(chǎn)能規(guī)劃是年產(chǎn)8800噸精細(xì)陶瓷粉體、2000噸高性能陶瓷制品。項(xiàng)目投產(chǎn)后，可將綠碳化硅的應(yīng)用邊界拓展到高端制造的耐高溫材料、新型陶瓷、半導(dǎo)體應(yīng)用核心部件及航空航天等領(lǐng)域。
此前，新疆乾景精細(xì)陶瓷有限公司已投資12億元，在十戶灘新材料產(chǎn)業(yè)園建成年產(chǎn)4.6萬(wàn)噸的綠碳化硅生產(chǎn)基地。
03、結(jié)語(yǔ)
碳化硅陶瓷作為一種兼具多種優(yōu)異性能的新型材料，日益受到半導(dǎo)體行業(yè)青睞。它以其獨(dú)特的高溫穩(wěn)定性、耐腐蝕性和高硬度等特性，在新能源、電子信息、生物醫(yī)療等眾多新興領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力，成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要材料。
未來(lái)，隨著反應(yīng)燒結(jié)、CVI工藝等制備技術(shù)的不斷進(jìn)步，碳化硅陶瓷的成本將逐步降低，這將進(jìn)一步拓展其應(yīng)用范圍，為更多領(lǐng)域的發(fā)展帶來(lái)新的機(jī)遇。
（集邦化合物半導(dǎo)體 金水 整理）
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