3月18日，湖州市生態(tài)環(huán)境局公示了對東尼電子擴建SiC項目的環(huán)評文件審批意見。
據(jù)悉，東尼電子2021年非公開發(fā)行募投項目“年產(chǎn)12萬片碳化硅半導(dǎo)體材料”的實施地點位于湖州市吳興區(qū)織里鎮(zhèn)。該項目總投資4.69億，由子公司東尼半導(dǎo)體負責建設(shè)。這一項目已于2023年上半年實施完畢。
而湖州市生態(tài)環(huán)境局本次公示的項目，則是在該募投項目上的進一步擴建。
根據(jù)公告內(nèi)容，東尼半導(dǎo)體計劃利用東尼五期廠區(qū)廠房，實施擴建年產(chǎn)20萬片6英寸碳化硅襯底材料項目。擴建項目主要購置長晶爐、研磨機、超聲波清洗機、切割機、拋光機、位錯檢測儀等晶體生產(chǎn)加工設(shè)備及檢測儀器421臺/套，形成年產(chǎn)20萬片碳化硅襯底材料的生產(chǎn)能力。
圖源：拍信網(wǎng)正版圖庫
無獨有偶，天岳先進、南砂晶圓等，也擴大了原有工廠的產(chǎn)能。
根據(jù)2022年募投計劃，天岳先進于上海臨港建設(shè)SiC襯底生產(chǎn)基地。項目規(guī)劃于2022年試生產(chǎn)、2026年達產(chǎn)，實現(xiàn)年產(chǎn)能30萬片導(dǎo)電型SiC襯底。
2023年下半，天岳先進決定將6英寸SiC襯底的生產(chǎn)規(guī)模擴大至96萬片/年，相當于產(chǎn)能比原計劃擴大220%。
2024年3月25日，天岳先進在投資者互動平臺表示，目前臨港工廠擴產(chǎn)進展順利，產(chǎn)品交付有序推進；臨港工廠第二階段的產(chǎn)能規(guī)劃也已經(jīng)步入議程，公司將繼續(xù)根據(jù)下游市場和客戶需求情況，推進臨港工廠產(chǎn)能產(chǎn)量提升。
而南砂晶圓總經(jīng)理王垚浩日前在接受采訪時直言，公司正在積極擴產(chǎn)濟南廠區(qū)，計劃將中晶芯源打造成為全國最大的8英寸SiC襯底生產(chǎn)基地，投資額15億元，于2025年實現(xiàn)滿產(chǎn)達產(chǎn)。
據(jù)悉，南砂晶圓8英寸SiC單晶和襯底項目于2023年6月12日落地山東濟南，成立于2023年5月的中晶芯源是該項目的主建方。今年1月30日，中晶芯源8英寸SiC單晶和襯底產(chǎn)業(yè)化項目正式備案。（集邦化合物半導(dǎo)體 Winte整理）
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