據(jù)捷佳偉創(chuàng)消息，近日，公司自主研制的碳化硅高溫熱處理工藝設(shè)備成功下線，試運行期間各項技術(shù)指標均滿足客戶需求，通過預(yù)驗收后順利發(fā)往國內(nèi)半導(dǎo)體IDM某頭部企業(yè)。 據(jù)悉，該設(shè)備主要用于制造碳化硅功率器件，能有效降低碳化硅晶體中的微觀應(yīng)力、消除組織缺陷和降低界面態(tài)密度、提高載流子遷移率以...  [詳內(nèi)文]