近日，碳化硅設備細分領域融資風云再起，國內又有一家碳化硅晶圓檢測設備企業(yè)完成新一輪融資。
11月4日，據“張通社”消息，睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱：睿勵科學儀器）近日宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯合領投，河南資產、金信資本、鼎青投資等跟投，融資資金主要用于進一步提升先進半導體制程用的光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。
官網資料顯示，睿勵科學儀器是于2005年創(chuàng)建的合資公司，致力于研發(fā)、生產和銷售具有自主知識產權的集成電路生產制造工藝裝備產業(yè)中的工藝檢測設備。
睿勵科學儀器業(yè)務涵蓋碳化硅晶圓缺陷檢測
據悉，睿勵科學儀器主要聚焦于薄膜測量和尺寸光學檢測設備，以及硅片厚度及翹曲測量設備等。目前，睿勵科學儀器相關設備已成功進入三星和長江存儲生產線，新研制的缺陷檢測設備也已進入下游客戶廠家。
在光學膜厚量測設備方面，睿勵科學儀器相關產品適用于硅/碳化硅/氮化鎵等集成電路制造前后道生產線、3D NAND制造生產線、DRAM制造生產線，可量測介質材料、半導體硅化物材料、超薄金屬材料半導體薄膜的厚度、折射率和吸收系數，也可測量晶圓襯底應力。
在光學缺陷檢測設備領域，睿勵自主研發(fā)制造的WSD系列產品，是面向集成電路芯片前道工藝以及泛半導體前道工藝（碳化硅、OLED、Micro LED等）的高精度光學晶圓外觀缺陷檢測設備，最高檢測精度可達到100nm，兼容4-12英寸wafer，支持明場和暗場檢測。
從融資情況來看，自2005年成立以來，睿勵科學儀器已相繼完成11輪融資，其中包括5輪單筆融資金額在1億元及以上的戰(zhàn)略融資。
碳化硅量檢測設備企業(yè)頻傳融資喜訊
作為一家碳化硅設備相關廠商，睿勵科學儀器本次完成5億元戰(zhàn)略融資，與正在高速發(fā)展的碳化硅產業(yè)密切相關。在碳化硅產業(yè)增資擴產浪潮下，相關設備需求水漲船高，帶動企業(yè)頻頻獲得資本加持。
據集邦化合物半導體不完全統(tǒng)計，2024年以來，已有謙視智能、蓋澤科技、優(yōu)睿譜、驛天諾、矽視科技、國科測試6家碳化硅量檢測設備相關廠商完成新一輪融資。
其中，謙視智能成立于2017年，專注于實現高端半導體量檢測設備的國產化，核心產品主要包括形貌檢測設備、碳化硅微管及位錯檢測設備、綜合缺陷檢測設備、膜厚及納微結構測量儀等，業(yè)務覆蓋碳化硅基、砷化鎵基、硅基等多種應用領域。
蓋澤科技已完成12英寸大尺寸晶圓的Online晶圓量測技術，覆蓋FTIR膜厚量測技術、元素濃度計量技術等，可應用于硅、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等材料晶圓的量檢需求，目前已向多家央企、國企、上市晶圓公司等知名半導體企業(yè)交付，并用于碳化硅、硅晶圓外延層的批量量測中。
隨著國內半導體行業(yè)的快速發(fā)展，對前道量測設備的需求量持續(xù)走高，優(yōu)睿譜順勢進行了一系列產品布局。在碳化硅產業(yè)日益火熱的趨勢下，為滿足市場需求，優(yōu)睿譜近兩年推出的設備產品基本都適用于碳化硅領域，因此也得到了一部分訂單。
驛天諾專注于硅光&第三代半導體封測設備，是國內較早開發(fā)硅光和第三代半導體自動化封測裝備的公司。驛天諾推出的產品之中，WAT高功率晶圓測試系統(tǒng)適用于碳化硅/氮化鎵高功率晶圓測試。
矽視科技成立于2021年6月，專注于半導體晶圓電子束量檢測設備的研發(fā)、生產和服務，目前，矽視科技產品主要有兩種，分別為CDSEM關鍵尺寸量測設備、EBI電子束缺陷檢測設備。其中，CDSEM關鍵尺寸量測設備可以覆蓋28納米以上成熟工藝，滿足6/8/12英寸硅基、碳化硅、氮化鎵、藍寶石等基片的量測需求。
在第三代半導體領域，國科測試攻克了光學及電學測試方面多項技術，實現了多項關鍵測試設備的國產化替代及產業(yè)化。
TrendForce集邦咨詢最新《2024全球SiC Power Device市場分析報告》顯示，碳化硅在汽車、可再生能源等功率密度和效率極其重要的應用市場中呈現加速滲透之勢，未來幾年整體市場需求將維持增長態(tài)勢，預估2028年全球碳化硅功率器件市場規(guī)模有望達到91.7億美金（約655億人民幣）。
在碳化硅市場快速增長趨勢下，包括碳化硅設備企業(yè)在內的產業(yè)鏈上下游廠商有望傳出更多融資進展。（文：集邦化合物半導體Zac）
更多SiC和GaN的市場資訊，請關注微信公眾賬號：集邦化合物半導體。