近日，在碳化硅設(shè)備領(lǐng)域，國內(nèi)兩家企業(yè)取得了新進展——中國電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級，三義激光首批碳化硅激光設(shè)備正式交付。
關(guān)鍵突破！中國電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級
近日，中國電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)再獲突破。
據(jù)中國電科官方消息，碳化硅外延爐是第三代半導(dǎo)體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級”的8英寸碳化硅外延設(shè)備，具備更快、更好、更穩(wěn)定的特點，通過改進激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術(shù)，設(shè)備自動化性能更加成熟，提升產(chǎn)品生產(chǎn)效率。設(shè)備還成功引入新的摻雜技術(shù)，進一步提升產(chǎn)品良率，持續(xù)降低生產(chǎn)成本。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
三義激光：首批碳化硅激光設(shè)備正式交付
9月5日，三義激光在官微透露，他們自主研發(fā)、生產(chǎn)的首批6&8英寸碳化硅激光滾圓設(shè)備順利完成生產(chǎn)并正式交付客戶，標志著公司在高端激光加工設(shè)備領(lǐng)域取得了重要進展。
據(jù)悉，三義激光碳化硅激光設(shè)備能利用高能激光束進行精準加工，提高生產(chǎn)效率，降低損耗，提升產(chǎn)品良率，為碳化硅的精細加工提供了高效、精準的解決方案，并具激光非接觸式加工、7×24小時無間斷工作、設(shè)備運行無需耗材等優(yōu)勢。（來源：全球半導(dǎo)體觀察）
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