11月20日，據(jù)中導光電官微消息，中導光電近日成功獲得國內功率半導體頭部客戶的8英寸碳化硅（SiC）晶圓缺陷檢測設備訂單。
source：中導光電
據(jù)悉，中導光電NanoPro-1XX設備可以為碳化硅芯片制備產線提供全工藝過程缺陷檢測。
據(jù)介紹，相較于6英寸碳化硅晶圓，8英寸碳化硅晶圓的尺寸增大，對制造和檢測過程中的精度與工藝要求更高。中導光電投入大量資源研發(fā)，力求在晶圓表面納米級缺陷檢測方面達到更高的精確度和更復雜的工藝水平。
官網資料顯示，中導光電創(chuàng)立于2006年11月，是一家國內平板顯示面板和半導體晶圓檢測設備專業(yè)企業(yè)，其集成電路檢測設備產品覆蓋“無圖形”和“有圖形”晶圓檢測應用領域，檢測靈敏度達納米級，已成功進入客戶產線。
在碳化硅設備領域，11月18日，廣州粵升半導體設備有限公司（下文簡稱：廣州粵升）宣布，其已在今年9月實現(xiàn)碳化硅外延設備的大批量出貨。
廣州粵升表示，此批設備在第一代外延爐基礎上做了進一步優(yōu)化設計，具備生產高質量、高穩(wěn)定性的外延片生產能力。（集邦化合物半導體Zac整理）
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