碳化硅，作為第三代半導(dǎo)體的標(biāo)志性材料，正持續(xù)在新能源汽車、5G通信、軌道交通等國(guó)家戰(zhàn)略重點(diǎn)扶持的新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中大放異彩，應(yīng)用范疇不斷拓展。近年來，隨著人工智能、AR眼鏡等前沿新興領(lǐng)域的迅猛崛起，碳化硅所具備的高頻特性、高功率承載能力以及卓越的耐高溫性能等優(yōu)勢(shì)愈發(fā)顯著，成為推動(dòng)這些領(lǐng)域技術(shù)突破的關(guān)鍵因素。
在此背景下，碳化硅市場(chǎng)呈現(xiàn)出蓬勃發(fā)展的態(tài)勢(shì)，持續(xù)保持高速增長(zhǎng)。其中，12英寸大尺寸晶體的研發(fā)與生產(chǎn)，更是成為實(shí)現(xiàn)降本增效、提升產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的核心路徑，由此吸引了眾多國(guó)內(nèi)廠商紛紛加大投入，積極布局這一潛力巨大的市場(chǎng)。
最新消息顯示，科友半導(dǎo)體與晶飛半導(dǎo)體兩家公司在12英寸碳化硅領(lǐng)域收獲新進(jìn)展。
01、科友半導(dǎo)體成功制備12英寸碳化硅晶體
9月8日“科友半導(dǎo)體”官微消息，依托自主研發(fā)的12英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐及熱場(chǎng)技術(shù)，科友半導(dǎo)體于9月初成功制備出12英寸碳化硅晶錠。
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圖片來源：科友半導(dǎo)體
這使得科友成為國(guó)內(nèi)少數(shù)同時(shí)掌握12英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備與工藝全套核心技術(shù)的半導(dǎo)體企業(yè)，實(shí)現(xiàn)了從設(shè)備到材料的全面自主突破。
科友半導(dǎo)體介紹了12英寸碳化硅在AR眼鏡中的應(yīng)用前景，其指出，12英寸襯底面積約為8英寸襯底的2.25倍 ，單片12英寸襯底所能產(chǎn)出的AR眼鏡用芯片數(shù)量遠(yuǎn)高于8英寸片，在大規(guī)模生產(chǎn)中，這能顯著減少長(zhǎng)晶、加工、拋光等環(huán)節(jié)的單位成本，是降低AR眼鏡核心元器件成本的關(guān)鍵路徑。
科友半導(dǎo)體成功制備出12英寸碳化硅晶錠，可大幅提升芯片產(chǎn)出量、顯著降低單位成本，將為新能源、通信、AR等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)注入更強(qiáng)發(fā)展動(dòng)力。
02、晶飛半導(dǎo)體12英寸碳化硅晶圓激光剝離技術(shù)重大突破
“晶飛半導(dǎo)體”官微消息，近期北京晶飛半導(dǎo)體科技有限公司利用自主研發(fā)的激光剝離設(shè)備實(shí)現(xiàn)了12英寸碳化硅晶圓的剝離。
該技術(shù)有望大幅降低碳化硅生產(chǎn)成本，提升產(chǎn)業(yè)供給能力，并助力我國(guó)半導(dǎo)體裝備自主可控發(fā)展，加速碳化硅器件在新能源汽車、可再生能源等領(lǐng)域的應(yīng)用。
據(jù)晶飛半導(dǎo)體介紹，上述技術(shù)此前在6/8英寸碳化硅領(lǐng)域已通過多家客戶驗(yàn)證，設(shè)備性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。與6英寸晶圓相比，12英寸碳化硅晶圓可用面積提升約4倍，單位芯片成本降低30%-40%。
資料顯示，晶飛半導(dǎo)體專注于半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司以激光應(yīng)用技術(shù)為核心，開發(fā)了系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體加工設(shè)備，服務(wù)客戶覆蓋國(guó)內(nèi)主要半導(dǎo)體制造企業(yè)。
03、結(jié)語
隨著國(guó)內(nèi)廠商在碳化硅領(lǐng)域不斷加大投入、持續(xù)創(chuàng)新，我國(guó)碳化硅產(chǎn)業(yè)有望在全球競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)更有利地位，引領(lǐng)新一輪的產(chǎn)業(yè)升級(jí)與變革。
（集邦化合物半導(dǎo)體 秦妍 整理）
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