近日，中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院（下文簡稱“深圳先進(jìn)院”）光子信息與能源材料研究中心（下文簡稱“研究中心”）與深圳市納設(shè)智能裝備有限公司（下文簡稱“納設(shè)智能”）成立了先進(jìn)材料聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研深度融合。
院企強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合
據(jù)了解，研究中心成立于2008年，專注于高性能多元化合物半導(dǎo)體材料的前沿技術(shù)研究，在光電傳感半導(dǎo)體材料制造方面取得了一系列成就。
納設(shè)智能成立于2018年10月，致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅外延設(shè)備、石墨烯等先進(jìn)材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。該公司自有第三代半導(dǎo)體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備，是中國首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備。
據(jù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人、深圳先進(jìn)院研究中心副研究員寧德在接受采訪時(shí)表示，2022年，研究中心因?yàn)橐M(jìn)行一系列SiC外延的實(shí)驗(yàn)研究，于是了解到在材料設(shè)備方面較有名氣的納設(shè)智能，湊巧的是當(dāng)時(shí)納設(shè)智能的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)也在研究中心參觀學(xué)習(xí)，雙方得以深入交流。
研究中心專注于先進(jìn)材料的應(yīng)用研究，納設(shè)智能在先進(jìn)材料的設(shè)備制造方面頗有心得，二者一拍即合。
據(jù)悉，雙方接下來將進(jìn)一步融合彼此的研究方向與內(nèi)容，同時(shí)在聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室組織架構(gòu)、工作機(jī)制和運(yùn)營規(guī)范等方面不斷探討、不斷優(yōu)化，進(jìn)一步推進(jìn)院企之間的研究和教學(xué)、高層次人才實(shí)踐基地建設(shè)以及創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實(shí)踐指導(dǎo)等方面的合作。
據(jù)介紹，目前雙方除了著重于工藝和設(shè)備的合作外，聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室還將對其他半導(dǎo)體先進(jìn)材料進(jìn)行研究，如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進(jìn)材料生長設(shè)備及工藝。雙方的合作將進(jìn)一步提高研發(fā)效率，縮短研發(fā)周期，推動(dòng)先進(jìn)材料領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
“20+8”產(chǎn)業(yè)政策助推
2022年6月，深圳出臺(tái)《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》重要政策文件，培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群，前瞻布局8大未來產(chǎn)業(yè)。預(yù)計(jì)到2025年，深圳戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)增加值將超過1.5萬億元。
半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)是深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群之一，此次深圳先進(jìn)院與納設(shè)智能的合作是科研力量賦能深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展的一個(gè)縮影。雙方的“牽手”，是新型研發(fā)機(jī)構(gòu)以協(xié)同創(chuàng)新的特色方法助力深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)的標(biāo)志性體現(xiàn)。
今年8月，在以“新型研發(fā)機(jī)構(gòu)助力深圳產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展”為主題的“科創(chuàng)中國”企業(yè)家論壇上，深圳先進(jìn)院與8家科技企業(yè)簽約，促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，納設(shè)智能就是其中之一。
（文：集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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