1月9日,據(jù)中國(guó)電科48所官微消息,中國(guó)電科48所立式氧化爐近日完成批量交付。
source:中國(guó)電科48所
據(jù)介紹,立式氧化爐是6-8英寸碳化硅功率器件及硅基集成電路制造關(guān)鍵工藝設(shè)備,主要用于高溫氧化及退火工藝。
據(jù)悉,氧化退火對(duì)于碳化硅功率器件制造至關(guān)重要。首先,氧化退火處...  [詳內(nèi)文]
中國(guó)電科48所立式氧化爐批量交付 |
作者
chen, zac
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發(fā)布日期:
2025 年 01 月 10 日 17:33
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關(guān)鍵字:
中國(guó)電科48所, 碳化硅
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