7月11日,半導體離子注入解決方案供應商Axcelis Technologies,Inc.(以下簡稱“Axcelis”)宣布,其向全球領先的碳化硅(SiC)功率器件芯片制造商批量出貨Purion Power系列?離子注入機系統(tǒng)。
Axcelis表示,這些出貨均在第二季度交付,其中...  [詳內(nèi)文]
Axcelis:向SiC企業(yè)批量出貨Purion Power系列離子注入機 |
作者 huang, Mia | 發(fā)布日期: 2023 年 07 月 14 日 17:14 | | 分類: 碳化硅SiC |