企查查官網顯示，12月23日，無錫邑文電子科技有限公司（以下簡稱：邑文科技）發(fā)生工商變更，新增比亞迪等新股東，注冊資本變更為1947.6655萬元。
邑文科技成立于2011年3月，專注于半導體前道工藝設備的研發(fā)、制造，主要產品為刻蝕工藝設備和薄膜沉積工藝設備，應用于半導體（IC及OSD）前道工藝階段，尤其是SiC、GaN等化合物半導體和MEMS等特色工藝領域。
2021年，邑文科技完成從二手翻新設備到自主開發(fā)全新設備的升級轉型，目前擁有全自主知識產權的去膠設備、刻蝕設備、CVD薄膜沉積、ALD設備及RTP和UV光固化設備，制造中心配備有超過2000平米的萬級無塵室和全特氣通入的千級無塵實驗室。
根據企查查消息顯示，邑文科技自2018年來完成了6輪戰(zhàn)略融資，投資方除了本次的比亞迪，還有中信建投、毅達資本、國經投資、金投資本等多家投資機構。此外，今年9月，無錫中科英智也宣布完成了對邑文科技的投資。
另據智慧芽顯示，邑文科技近期主要專注于半導體、反應腔室、等離子、加工設備、真空腔室等技術領域，已公開專利申請195件，發(fā)明專利占比54.87%。
在第三代半導體領域，邑文科技的業(yè)務開發(fā)已頗有成果。據悉，該公司的設備已經進入泰科天潤、三安光電、積塔半導體、揚杰科技、好達電子、比亞迪半導體、中電科、中科院微電子所、物聯(lián)網創(chuàng)新中心等國內知名企業(yè)及科研院所。未來，邑文科技將持續(xù)致力于助力第三代半導體等半導體設備產業(yè)的國產化替代。（化合物半導體市場Jenny整理）
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