近期,上海芯上微裝科技股份有限公司(以下簡稱“芯上微裝”)自主研發(fā)的首臺350nm步進(jìn)光刻機(jī)(AST6200 )正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收,啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場,將為國產(chǎn)化合物半導(dǎo)體制造提供強(qiáng)有力的核心裝備支撐。
圖片來源:芯上微裝
AST6200光刻機(jī)是芯上微裝基于多年光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、...  [詳內(nèi)文]
芯上微裝首臺350nm步進(jìn)光刻機(jī)發(fā)運(yùn),助力國產(chǎn)化合物半導(dǎo)體 |
| 作者 KikiWang|發(fā)布日期 2025 年 12 月 02 日 18:33 | 分類 化合物半導(dǎo)體 |
